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南昌洁净室的洁净度测试内容说明
作者:admin2019-07-09 14:24
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洁净室的洁净度测试是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响。因此洁净室洁净度测试都放在几项测试都通过之后。洁净室的洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。
洁净室洁净度测试使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内,交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格,常见的是流量1cfm,小粒径可测到0.3mm或是0.1mm,单位多是立方英。至于应使用何种设备,要依业主的规范而定。-般在产业界,多依以下方式选择微粒计数器。
Class1000或更高:0.5um
Class100:0.3μm,0.5um
Class1到Class10:0.1μm
若是业主要求的洁净室粒径范围超过单-微粒计数器的范围,则应该使用两部微粒计数器。
洁净室的洁净度具体测试步骤:
1、确定空调系统之测试调整与平衡已完成,滤网之风速及泄漏测试均已完成,并已修换破损部分。
2、确认测试位置与测试点数。
3、取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异,若取样时间小于一分钟,则以一分钟为准。
4、测试位置应均匀分布在无尘室内,避免在产生大量粒子之附近,且将检测仪器以适当之架台支撑,不可以手持支撑。
5、测量点数以公式计算(与209E相同)。
洁净室的洁净度验收基准有几点,首先是每点的微粒测量平均值要低于规定值。其次,任一隔间若需使用信赖度上限分析,则该分析值也要小于规定值。