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三沙洁净室的压差控制

压差的实质是:新风量与排风量+压差风量之间的平衡.
直流系统:新风量 = 排风量+压差风量
循环系统:新风量+回风量=回风量+排风量+压差风量
本质是:新风量 = 排风量+压差风量
因此,洁净室压差建立的调整,都应体现新风量与排风量+压差风量之间的平衡:
(1)对直流系统,送入一定的风量,调节排风量至压差值的建立;
(2)对循环系统,送入一定的风量,一般可按要求调整排风量,然后调节回风量,建立压差值;
(3)当某些洁净室无排风时,则调节风量至压差值的建立.
洁净室送入风量要求一定,因此不能作为控制的变量。
引起洁净室压差波动的外扰因素及常用的基本对策如下:
(1)HVAC系统阻力变化,主要是过滤器阻力的变化,会引起送风量的变化,影响室内压差的波动.对其控制较易,只要运行到一定时期后系统阻力变化至一定值时,人工及时调整便可.亦常在用定风量阀控制压差时,能自动维持送风量不变,亦有采用变速的送风机,以过滤器压差进行风机转速控制,维持风量一定。
(2)室外风压的变化(室外风向及风速等引起),会影响洁净室的压差风量,引起室内压差的波动.对其控制也较容易,要求:围护结构及门的气密性好;洁净室对室外保持≥10Pa压差,相邻洁净室间保持≥5Pa压差,当室外风压对洁净不利时,尚能维持洁净室内的一定压差而不致出现问题。
(3)洁净室门的启、闭,会引起洁净室压差的波动。门开启时,两洁净室的压差不能维持,空气会双向交换,其交换量与两室间的空气温差有关,亦与人的走动有关,国外有研究认为在Δt=0℃,双开门的空气交换量约为0.19m3/s; Δt=2℃,则达0.24m3/s.
为防止反向流的出现,则流经门的空气速度应>0.2m/s(ISO 14644-4中提及的维持低压差时所需的气流速度);在工程中,国外常采用0.25m/s~ 0.5m/s的气流速度.
对其控制较不容易,需采用闭环控制。在采用定量控制时,须设置缓冲室或气闸。
(4)洁净室工艺排风的变化必然带来压差的波动,而排风量的变化有时是较大的,此时为不使室内压差波动,不使引起反向流,需要采用闭环控制。
(5)HVAC系统的启停以及生物洁净室薰、蒸、消毒、灭菌所需风阀操作必然引室压的波动,但这都是在非正常运行过程中暂时出现的,对正常运行并无影响,因此需要在系统的风机、阀门等运行的联锁及阀门操作等作规定外,无需在压差控制系统上作考虑。